´ÙÀÌ´ÖÆùÀμâÁÖ½Äȸ»ç(Dai Nippon Printing Co., Ltd)(ÀÌÇÏ DNP (https://
www.global.dnp))(TOKYO: 7912)´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ÀÇ ÃÖ÷´Ü ÇÁ·Î¼¼½ºÀÎ ±ØÀڿܼ±(EVU) ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â 3³ª³ë¹ÌÅÍ(10-9¹ÌÅÍ) »ó´çÀÇ Æ÷Å丶½ºÅ© Á¦Á¶°øÁ¤À» °³¹ßÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇÏ¿´´Ù.
¹è°æ
DNP´Â ¼º´É°ú Ç°Áú Ãø¸é¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷üÀÇ ÇÊ¿ä¿¡ ²ÙÁØÇÏ°Ô ´ëÀÀÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2016³â¿¡´Â Æ÷Å丶½ºÅ© Àü¹®¾÷ü·Î´Â ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¸ÖƼºö ¸¶½ºÅ© ³ë±¤±â(MBMW)¸¦ µµÀÔ (https://
www.global.dnp/news/detail/20167043_4126.html)ÇÏ¿´À¸¸ç, 2020³â¿¡´Â 5nm EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ °øÁ¤ (https://
www.global.dnp/news/detail/20167129_4126.html)¿¡ »ó´çÇÏ´Â Æ÷Å丶½ºÅ© Á¦Á¶°øÁ¤À» °³¹ßÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ºÎÇÕÇÏ´Â ¸¶½ºÅ©¸¦ °ø±ÞÇÏ¿´´Ù. ¶ÇÇÑ ±Ù³â µé¾î ´õ¿í ´Ù¾çÈÇÏ°í ÀÖ´Â ¹Ì¼¼È ¼ö¿ä¿¡ ºÎÀÀÇÏ°íÀÚ °¡Àå ÃÖ±Ù¿¡´Â À̹ø 3nm °øÁ¤¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ °³¹ßÇϱ⵵ ÇÏ¿´´Ù.
°³¿ä
¡¤ DNP°¡ 2016³â µµÀÔÇÑ ¸ÖƼºö ¸¶½ºÅ© ³ë±¤±â(MBMW)´Â ¾à 26¸¸ °³ÀÇ ÀüÀÚºöÀ» Á¶»çÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÆÐÅÏ Çü»óÀÌ º¹ÀâÇصµ ³ë±¤ ½Ã°£À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ´ÜÃàÇÏ´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. À̹ø °³¹ß¿¡¼ DNP´Â MBMWÀÇ Æ¯¼ºÀ» ÃÖ´ëÇÑ »ì·Á Á¦Á¶°øÁ¤À» °³¼±ÇÏ¿´À¸¸ç, EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë Æ÷Å丶½ºÅ©ÀÇ º¹ÀâÇÑ °î¼± ÆÐÅÏ ±¸Á¶¸¦ °í·ÁÇÏ¿© °¡°ø Á¶°Ç°ú µ¥ÀÌÅÍ º¸Á¤±â¼ú¸¦ ÃÖÀûÈÇÏ¿´´Ù.
¡¤ DNP´Â MBMW¸¦ Áõ¼³ÇÏ¿© 2024³â ÇϹݱ⿡´Â °¡µ¿À» °³½ÃÇÒ °èȹÀ̸ç, EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë Æ÷Å丶½ºÅ© µî ÷´Ü ºÐ¾ßÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ Áö¿ø °È¿¡µµ ½ÉÇ÷À» ±â¿ïÀÌ°í ÀÖ´Ù.
¡¤ ³ª¾Æ°¡ DNP´Â º§±â¿¡¿¡ º»»ç¸¦ µÎ°í ÀÖ´Â ÃÖ÷´Ü ±¹Á¦¿¬±¸±â°üÀÎ IMEC(Interuniversity Microelectronics)¿Í ¼ÕÀ» Àâ°í Â÷¼¼´ë EUV ³ë±¤±â¿ë Æ÷Å丶½ºÅ©ÀÇ °øµ¿ °³¹ßÀ» ÃßÁøÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
ÇâÈÄ °èȹ
DNP´Â À̹ø °³¹ßÇÑ 3nm EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë Æ÷Å丶½ºÅ©¸¦ Àü ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¾÷ü¿¡ °ø±ÞÇÏ´Â ÇÑÆí, 2030³â ¿¬¸ÅÃâ 100¾ï ¿£À» ¸ñÇ¥·Î EUV ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿ë ÁÖº¯ ±â¼ú °³¹ßÀ» Áö¿øÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ DNP´Â IMECÀ» ºñ·ÔÇÑ ÆÄÆ®³Ê¿Í °øµ¿ °³¹ßÀ» ÃßÁøÇÏ¿© 3nm¿¡¼ ÇÑ °ÉÀ½ ´õ ³ª¾Æ°£ 2nm ÀÌÇÏ¿¡ ´ëÀÀÇÏ´Â °øÁ¤À» Áö¼ÓÇؼ °³¹ßÇÏ°íÀÚ ÇÑ´Ù.
¼¼ºÎ »çÇ× (https://
www.global.dnp/news/detail/20170124_4126.html)
DNP ¼Ò°³
1876³â¿¡ ¼³¸³µÈ DNP´Â °¢Á¾ Àμ⠱â¹Ý ¼Ö·ç¼Ç°ú ´Ù¾çÇÑ ÆÄÆ®³Ê»ç¿ÍÀÇ Á¦ÈÞ¶ó´Â ÀåÁ¡À» »ì·Á »õ·Î¿î ºñÁî´Ï½º ±âȸ¸¦ âÃâÇÏ´Â ÇÑÆíÀ¸·Î, ȯ°æÀ» º¸È£ÇÏ°í ¸ðµÎ¸¦ À§ÇØ º¸´Ù È°±âÂù ¼¼»óÀ» ¸¸µé°íÀÚ ÇÏ´Â ¼±µµÀûÀÎ ±Û·Î¹ú ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇß´Ù. DNP´Â ¹Ì¼¼ °¡°ø ¹× Á¤¹Ð ÄÚÆà ±â¼ú ºÐ¾ßÀÇ ¿ª·®À» »ì·Á µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ÀüÀÚ±â±â, ±¤ÇÐÇʸ§ ½ÃÀå¿¡¼ µÎ°¢À» º¸ÀδÙ. ¶ÇÇÑ DNP´Â Àΰ£ Ä£ÈÀûÀÎ Á¤º¸»çȸ¸¦ À§ÇÑ Â÷¼¼´ë Åë½Å ¼Ö·ç¼ÇÀ» Áö¿øÇÏ°íÀÚ Áõ±â üÀÓ¹ö(vapor chamber)¿Í ¸®Ç÷ºÆ® ¾î·¹ÀÌ(reflect array) µîÀÇ ½ÅÁ¦Ç°À» °³¹ßÇϱ⵵ ÇÏ¿´´Ù.
»çÁø/¸ÖƼ¹Ìµð¾î ÀÚ·á : https://
www.businesswire.com/news/home/53867205/en
º» º¸µµÀÚ·á´Â ÇØ´ç ±â¾÷¿¡¼ ¿øÇÏ´Â ¾ð¾î·Î ÀÛ¼ºÇÑ ¿ø¹®À» Çѱ¹¾î·Î ¹ø¿ªÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ±×·¯¹Ç·Î ¹ø¿ª¹®ÀÇ Á¤È®ÇÑ »ç½Ç È®ÀÎÀ» À§Çؼ´Â ¿ø¹® ´ëÁ¶ ÀýÂ÷¸¦ °ÅÃÄ¾ß ÇÑ´Ù. óÀ½ ÀÛ¼ºµÈ ¿ø¹®¸¸ÀÌ °ø½ÄÀûÀÎ È¿·ÂÀ» °®´Â ¹ßÇ¥·Î ÀÎÁ¤µÇ¸ç ¸ðµç ¹ýÀû Ã¥ÀÓÀº ¿ø¹®¿¡ ÇÑÇØ À¯È¿ÇÏ´Ù.
¾ð·Ð¿¬¶ôó: ´ÙÀÌ´ÖÆùÀμâÁÖ½Äȸ»ç(Dai Nippon Printing Co., Ltd.) È«º¸ ¹®ÀÇ Å°Å¸°¡¿Í À¯½ºÄÉ(Yusuke Kitagawa) 81-3-6735-0101
ÀÌ ´º½º´Â ±â¾÷¡¤±â°ü¡¤´Üü°¡ ´º½º¿ÍÀ̾ ÅëÇØ ¹èÆ÷ÇÑ º¸µµÀÚ·áÀÔ´Ï´Ù.