·Î¿È (https://
www.rohm.com/)(ROHM Co., Ltd. ÀÌÇÏ ¡®·Î¿È¡¯)°ú µµ½Ã¹Ù ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð µð¹ÙÀ̽º ¾Ø ½ºÅ丮Áö (https://toshiba.semicon-storage.com/ap-en/top.html)(Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation, ÀÌÇÏ ¡®µµ½Ã¹Ù¡¯)°¡ ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶¿Í »ý»ê·® Áõ°¡¸¦ À§ÇØ Çù·ÂÇÏ´Â °èȹÀÌ ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ º¸¾È ¹× ¾ÈÁ¤È ¸ñÇ¥¸¦ Áö¿øÇÏ´Â Á¶Ä¡·Î ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ ÀϺ» °æÁ¦»ê¾÷¼ºÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ°Ô µÇ¾ú´Ù. ·Î¿È°ú µµ½Ã¹Ù ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð µð¹ÙÀ̽º ¾Ø ½ºÅ丮Áö´Â °¢°¢ źȱԼÒ(SiC) ¹× ½Ç¸®ÄÜ(Si) ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º¿¡ ÁýÁß ÅõÀÚÇÏ°í °ø±Þ ´É·ÂÀ» È¿°úÀûÀ¸·Î Çâ»óÇÏ¸ç »ó´ë¹æÀÇ »ý»ê ´É·ÂÀ» »óÈ£ º¸¿ÏÀûÀ¸·Î È°¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º´Â ¸ðµç Á¾·ùÀÇ ÀüÀÚ Àåºñ¿¡ Àü·ÂÀ» °ø±ÞÇÏ°í °ü¸®Çϸç ź¼Ò ¾ø´Â ź¼Ò Á߸³ »çȸ¸¦ ½ÇÇöÇϱâ À§ÇØ ÇʼöÀûÀÎ ºÎÇ°ÀÌ´Ù. ÇöÀç ¼ö¿ä´Â °è¼Ó Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÚµ¿Â÷ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼´Â Â÷·® Àü±âÈÀÇ ±Þ¼ÓÇÑ È®´ë¿Í ÇÔ²² ´õ È¿À²ÀûÀÌ°í ´õ ÀÛ°í °¡º¿î Àü±â ÆÄ¿öÆ®·¹ÀÎ °³¹ß¿¡¼ ÁøÀüÀ» ÀÌ·ç¾ú´Ù. »ê¾÷¿ë ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼´Â Áõ°¡ÇÏ´Â ÀÚµ¿È ¹× °íÈ¿À² ¿ä±¸ »çÇ×À» Áö¿øÇϱâ À§ÇØ ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þ°ú Çâ»óµÈ Ư¼ºÀÌ ³Î¸® ¿ä±¸µÈ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ ¹è°æ¿¡¼ ·Î¿ÈÀº ¡°Àü·Â ¹× ¾Æ³¯·Î±× ¼Ö·ç¼Ç¿¡ ÁÖ·ÂÇÏ¿© °í°´ÀÇ ¿¡³ÊÁö Àý°¨ ¹× Á¦Ç° ¼ÒÇüÈ¿¡ ´ëÇÑ ´ÏÁî¿¡ ±â¿©ÇÔÀ¸·Î½á »çȸ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇÑ´Ù¡±´Â °æ¿µ ºñÀüÀ» ¼ö¸³ÇÏ°í ¹«Åº¼Ò¸¦ À§ÇÑ ³ë·Â¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³»°í ÀÖ´Ù. SiC ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º´Â ¿¡³ÊÁö Àý¾àÀÇ °ü°ÇÀÌ´Ù. ·Î¿ÈÀº ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î SiC MOSFETÀ» ¾ç»êÇÑ ÀÌ·¡, ¾÷°è¸¦ ¼±µµÇÏ´Â ±â¼úÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î °³¹ßÇØ ¿Ô´Ù. ÀÌ Áß¿¡´Â ¼ö¸¹Àº Àü±â ÀÚµ¿Â÷ ¹× »ê¾÷ Àåºñ¿¡ äÅÃµÉ ·Î¿ÈÀÇ ÃֽŠ4¼¼´ë SiC MOSFETµµ Æ÷ÇԵȴÙ. ·Î¿ÈÀº ¿ì¼±¼øÀ§ ÇÁ·ÎÁ§Æ® Áß Çϳª·Î SiC »ç¾÷À» ÃßÁøÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ¿©±â¿¡´Â SiCÀÇ »ý»ê ´É·ÂÀ» ³ôÀÌ°í ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇÑ °ø°ÝÀûÀÌ°í Áö¼ÓÀûÀÎ ÅõÀÚ°¡ Æ÷ÇԵȴÙ.
µµ½Ã¹Ù ±×·ìÀº ¡®»ç¶÷¿¡ ´ëÇÑ ¾à¼Ó, ¹Ì·¡¿¡ ´ëÇÑ ¾à¼Ó¡¯À̶ó´Â ¿À·¡µÈ ±âº» ¾à¼Ó°ú ÇÔ²² ź¼Ò Á߸³°ú ¼øȯ °æÁ¦ÀÇ ´Þ¼ºÀ» ÁøÀü½ÃÅ°´Â °ÍÀ» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ´Ù. µµ½Ã¹Ù ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð µð¹ÙÀ̽º ¾Ø ½ºÅ丮Áö´Â ¼ö½Ê ³â µ¿¾È ÁÖ·Î ÀÚµ¿Â÷ ¹× »ê¾÷¿ë ½ÃÀå¿¡ Si ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º¸¦ °ø±ÞÇÏ¿© ¿¡³ÊÁö Àý¾à ¼Ö·ç¼Ç°ú Àåºñ ¼ÒÇüȸ¦ º¸ÀåÇÏ´Â µ¥ ±â¿©ÇØ ¿Ô´Ù. ȸ»ç´Â Áö³ÇØ 300mm ¿þÀÌÆÛ ¶óÀο¡¼ »ý»êÀ» ½ÃÀÛÇßÀ¸¸ç, »ý»ê ´É·ÂÀ» Çâ»óÇÏ°í °·ÂÇÑ ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ ´ëÀÀÇϱâ À§ÇØ ÅõÀÚ¸¦ °¡¼ÓÈÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ Æ¯È÷ ÀÚµ¿Â÷ ¹× Àü·Â ¼Û¹èÀü ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ» À§ÇÑ ´õ ±¤¹üÀ§ÇÑ SiC ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º ¶óÀξ÷µµ °³¹ßÇÏ¸é¼ Ã¶µµ Â÷·® ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼ ½×¾Æ¿Â Àü¹®¼ºÀ» ÃÖ´ëÇÑ È°¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
·Î¿ÈÀº ÀÌ¹Ì µµ½Ã¹Ù ¹Î¿µÈ¿¡ ´ëÇÑ Âü¿©¸¦ ¹ßÇ¥ÇßÁö¸¸, À̹ø ÅõÀÚ°¡ ¾ç»ç °£ Á¦Á¶ Çù·ÂÀÇ Ãâ¹ßÁ¡ÀÌ µÇÁö´Â ¸øÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ±¹Á¦ °æÀïÀÌ °ÝȵǴ Áß¿¡ ·Î¿È°ú µµ½Ã¹Ù ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð µð¹ÙÀ̽º ¾Ø ½ºÅ丮Áö°¡ Çѵ¿¾È ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º »ç¾÷¿¡¼ Çù·ÂÀ» °ËÅäÇÑ °á°ú, °øµ¿ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀ¸·Î À̾îÁ³´Ù.
·Î¿È°ú µµ½Ã¹Ù ÀÏ·ºÆ®·Î´Ð µð¹ÙÀ̽º ¾Ø ½ºÅ丮Áö´Â °¢°¢ SiC ¹× Si ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º¿¡ ´ëÇÑ ÁýÁßÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ ÅëÇØ ¾ç»çÀÇ ±¹Á¦ °æÀï·Â °ÈÇÏ´Â ¹æÇâÀ¸·Î ÆÄ¿ö µð¹ÙÀ̽º Á¦Á¶¿¡¼ Çù·ÂÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¾ç»ç´Â ¶ÇÇÑ ÀϺ» ³» ¹ÝµµÃ¼ °ø±Þ¸ÁÀÇ Åº·Â¼º °È¿¡ ±â¿©ÇÒ ¹æ¹ýÀ» ¸ð»öÇÒ °ÍÀÌ´Ù.
°ø±Þ °È °èȹ °³¿ä
(Ç¥ÀÇ ³»¿ëÀº pdf ÂüÁ¶. ´Ù¿î·Îµå: https://bit.ly/46MEqEA)
·Î¿È ¼Ò°³
1958³â¿¡ ¼³¸³µÈ ·Î¿ÈÀº ±Û·Î¹ú °³¹ß ¹× ÆǸŠ³×Æ®¿öÅ©¸¦ ÅëÇØ ÀÚµ¿Â÷, »ê¾÷ ¹× ¼ÒºñÀÚ ½ÃÀåÀ» Æ÷ÇÔÇÑ ±¤¹üÀ§ÇÑ ½ÃÀå¿¡ ¶Ù¾î³ Ç°Áú°ú ½Å·Ú¼ºÀ» °®Ãá IC ¹× µð½ºÅ©¸®Æ® ¹ÝµµÃ¼¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù.
·Î¿È À¥ »çÀÌÆ®: